- 前言
- 1 总则
- 2 术语
- 3 特种气体站房
- 3.1 一般规定
- 3.2 特种气体站房分类
- 3.3 特种气体设备的布置
- 4 特种气体工艺系统
- 4.1 一般规定
- 4.2 特种气体输送系统
- 4.3 吹扫和排气系统
- 5 硅烷站
- 5.1 硅烷站工艺系统
- 5.2 硅烷站的布置
- 5.3 安全技术措施
- 5.4 采暖通风与空气调节
- 5.5 消防系统
- 6 特种气体管道输送系统
- 6.1 一般规定
- 6.2 材料选型
- 6.3 管道设计
- 6.4 管道标识
- 7 建筑结构
- 8 电气与防雷
- 8.1 配电与照明
- 8.2 防雷与接地
- 9 生命安全系统
- 9.1 特种气体管理系统
- 9.2 特种气体探测系统
- 9.3 安全设施
- 9.4 特种气体报警的联动控制
- 10 给水排水及消防
- 10.1 给水排水
- 10.2 消防
- 11 采暖通风与空气调节
- 11.1 采暖通风
- 11.2 空气调节
- 12 特种气体系统工程施工
- 12.1 一般规定
- 12.2 主要设备、 材料进场验收
- 12.3 气瓶柜与气瓶架的安装
- 12.4 阀门箱与阀门盘的安装
- 12.5 特种气体管道安装
- 12.6 特种气体管道改扩建工程施工
- 12.7 特种气体系统的检验
- 12.8 尾气处理装置的安装
- 12.9 生命安全设施安装
- 13 特种气体系统验收
- 13.1 一般规定
- 13.2 设备验收
- 13.3 管路与系统验收
- 13.4 气体探测/监控系统验收
- 附录A 特种气体管道氦检漏方法
- 附录B 特种气体系统验收测试记录表
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
